Anwendbare Branchen für Reinräume der Klasse 100
Die Kontaminationskontrolle im Submikrometerbereich stellt eine der anspruchsvollsten ingenieurtechnischen Herausforderungen der modernen Hochtechnologie-Fertigung dar. Gemäß dem Standard ISO 14644-1 und dem historischen US-Bundesstandard 209E begrenzt eine Umgebung der Klasse 100 – äquivalent zu ISO Klasse 5 – die Partikelkonzentration in der Luft auf maximal 3.520 Partikel pro Kubikmeter bei Partikeldurchmessern von 0,5 µm…






