Отрасли применения чистых помещений класса 100
Контроль контаминации в субмикронном масштабе представляет собой одну из самых сложных инженерных задач в современном высокотехнологичном производстве. Согласно стандарту ISO 14644-1 и историческому американскому федеральному стандарту 209E, среда класса 100 — эквивалент ISO класса 5 — ограничивает концентрацию взвешенных частиц уровнем не более 3520 частиц на кубический метр при диаметре частиц 0,5 мкм…







