غرف نظيفة بفئة 100: أي الصناعات تحتاج إليها؟
تعتمد عمليات الطبوغرافية الضوئية لأشباه الموصلات والمعالجة الدوائية معقمة بشكل كلي على الغرف النظيفة بفئة 100، وهي التي تُحدد الحد الأقصى المطلق للتحكم في التلوث في التصنيع ذي المخاطر العالية. ورغم ذلك، يميل الكثير من مخططي المنشآت إلى المبالغة في تحديد مواصفات بيئتهم أو يفوتهم محفزات الامتثال الحرجة. ولتقدير هذه الدقة، تتيح بيئة ISO 5 حداً أقصى يبلغ 3,520 جسيم (≥0.5µm) لكل متر مكعب…










